Ýarymgeçirijiler senagatynyň çalt ösüşi bilen, pudagyň möçberi çalt depginde artdy we ýarymgeçirijiler öndürýän enjamlar takyklyga we çylşyrymlylyga öwrülmegini dowam etdirdi. Keramika ýokary berklik, ýokary elastiklik moduly, ýokary aşynma garşylygy, ýokary izolýasiýa, korroziýa garşylygy, pes giňelme we ş.m. artykmaçlyklaryna eýe bolandygy sebäpli, ol kremniý jylawlaýjy maşynyň, epitaksial/oksidlenme/diffuziýa ýylylyk bilen işläp bejeriş enjamlarynyň, litografiýa maşynynyň, çökündi enjamlarynyň, ýarymgeçirijiler aşyndyryş enjamlarynyň, ion implantasiýa maşynynyň we beýleki enjamlaryň bölekleri hökmünde ulanylyp bilner, şonuň üçin takyk keramiki bölekleriň ylmy-barlag we işläp düzmek we öndürmek ýarymgeçirijiler senagatynyň ösüşine gönüden-göni täsir edýär. Ony taýýarlamagyň tehniki talaplary barha ýokarlanýar.
Ýokary arassalykdaky alýumin oksidi, 99.7%-99.9% alýumin oksidi.
Ýokary mehaniki berklik, ýokary aşynma garşylygy, ýokary elektrik izolýasiýasy, ýokary himiki durnuklylyk, gowy ýylylyga we korroziýa garşylygy. Häzirki wagtda keramiki üwemek disk üwemek ýarymgeçiriji kremniý waferini ulanmak iň ýokary we öňdebaryjy üwemek usulydyr. Iki taraplaýyn üwemek prosesi kesilen kremniý waferini üwemek üçin ulanylýar we üwemek prosesini (disk materialy, üwemek suwuklygy, üwemek basyşy we üwemek tizligi we ş.m.) gowulandyrmak arkaly üwemek waferiniň hilini ýokarlandyrýar. Hususan-da, waferiň esasy ýüzünde ýaryklaryň ýa-da hapalanmanyň döremeginiň öňüni almak üçin çoýun waferleriň ýerine keramiki waferleri ulanmak, metal ionlarynyň girizilmegini azaldyp, kremniýiň soňraky işlenilişini azaldyp, soňraky işlenilişiň (korroziýanyň) wagtyny gysgaldyp, önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyryp we kremniýiň işlenilişiniň ýitgisini azaldyp, kremniýiň ulanylyşyny ep-esli gowulandyryp biler.
Ýokary alýuminli wafer jylaňlaýjy plastinkaýarymgeçiriji, nebit, himiýa, fotowoltaik, suwuk kristal we beýleki senagat pudaklarynda, mysal üçin mehaniki böleklerde, elektron böleklerde, mikrotolkunly induksiýa diskinde, izolýasiýa materiallarynda we beýleki böleklerde, ýarymgeçiriji enjamlarda, wakuum enjamlarynda, suwuk kristal öndürýän enjamlarda we beýleki böleklerde ulanylýar. Uly ölçegli we ýokary arassa alýumin keramikasy sapfir senagatynda we ýarymgeçiriji çip senagatynda möhüm ulanyş gymmatyna eýedir. Ol sapfir we ýarymgeçiriji kremniý plitalarynyň himiki mehaniki jylamak (CMP) üçin esasy goldaw we sarp ediji serişdedir. Uly ölçegli we ýokary arassa alýumin keramikasy LCD üçin alýumin substrat hökmünde hem ulanylyp bilner.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 27-nji iýuny