Ýarymgeçirijiler önümçiliginde material saýlamak prosesiň hilini we önümiň öndürijiligini üpjün etmek üçin örän möhümdir. Ýokary öndürijilikli keramiki material hökmünde 99,7% alýumin oksidi keramiki plastinka ýalpyldawuk plastinkasy ýarymgeçirijiler senagatynda ajaýyp fiziki we himiki häsiýetleri sebäpli giňden ulanylýar. Bu makalada aýratynlyklary öwrenilýär99.7% alýumin oksidi keramiki wafer jylawlaýjy plastinkawe olaryň ýarymgeçirijiler önümçiliginde möhüm roly.
1. 99,7% alýumin oksidi keramikasynyň häsiýetleri
99,7% alýumin oksidi keramikasy, esasan α-alýumin oksidinden (Al₂O₃) ybarat bolan ýokary arassa materialdyr. Onuň esasy häsiýetleri:
Ýokary arassalyk:99,7% alýumin oksidiniň düzümi himiki durnuklylygy üpjün edýär we ýarymgeçiriji proseslerinde hapalanma töwekgelçiligini azaldýar.
Ýokary temperatura garşylygy:1600°C-den ýokary temperaturada durnukly, bu bolsa ony diffuziýa, oksidlenme we himiki bug çökündisi (HBÇ) ýaly ýokary temperaturaly prosesler üçin amatly edýär.
Korroziýa garşylygy:Kislotalara, alkalilere we aşyndyryjy gazlara garşy durýar, aşyndyrma we arassalamak proseslerinde işiň durnuklylygyny saklaýar.
Ýokary berklik we geýinme garşylygy:Ajaýyp berklik uzak wagtlap ulanylanda minimal aşynmagy üpjün edýär we hyzmat ömrüni uzaldýar.
Ýokary derejeli izolýasiýa:Ajaýyp elektrik izolýasiýa häsiýetleri elektrik izolýasiýasyny talap edýän gurşawlara laýyk gelýär.
2. Ýarymgeçirijiler önümçiliginde ulanylyşlar
99,7% alýumin oksidli keramiki plastinka ýarymgeçiriji önümçiliginde möhüm rol oýnaýar, şol sanda:
Wafer bilen işlemek:Litografiýa, aşındyrma we inçe plýonka çökündisi wagtynda waflileri berkitmek we goldamak üçin ulanylýar, ýokary temperaturada we korroziýa döredýän gurşawlarda durnuklylygy üpjün edýär.
Ýokary temperatura prosesleri:Diffuziýa peçlerinde we CVD enjamlarynda termal şoklara çydamly, wafer deformasiýasynyň öňüni almak üçin ölçegli durnuklylygy saklaýar.
Oýmak we arassalamak:Korroziýa garşylykly iş görkezijisi güýçli kislotalar ýa-da alkaliler bilen baglanyşykly plazma aşındyrma we çygly arassalamak proseslerinde çydamlylygy üpjün edýär.
Gaplama we synag:Çip gaplamak we synagdan geçirmek üçin durnukly platforma üpjün edýär, prosesiň takyklygyny üpjün edýär.
3. Artykmaçlyklar we kynçylyklar
99,7% alýumin oksidli keramiki plastinkanyň artykmaçlyklary olaryň ýokary arassalygynda, termal durnuklylygynda we korroziýa garşylygynda bolup, ýarymgeçiriji önümçiligiň berk talaplaryna laýyk gelýär. Şeýle-de bolsa, kynçylyklara çylşyrymly önümçilik prosesleri, ýokary çykdajylar we ýüziň tekizligi we ölçeg takyklygy üçin berk talaplar girýär, bu bolsa önümçilik üçin tehniki päsgelçilikleri döredýär.
4. Geljekki garaýyş
Ýarymgeçiriji tehnologiýasy ösende, keramiki tabaklar üçin önümçilik talaplary artmagyny dowam etdirer. Geljekki ösüşler täze nesil ýarymgeçiriji önümçiliginiň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak üçin ýylylyk geçirijiligini, mehaniki berkligini we çykdajylaryň netijeliligini ýokarlandyrmak üçin materiallaryň üýtgedilmegine we önümçilik prosesleriniň optimizirlenmegine gönükdirilip bilner.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 7-nji marty